特色化：本議器接收非戰斗、光纖激光切割機的薄膜相移干與側量方式，側量時不毀傷鏜孔外貌，能急速測是各種各樣鏜孔外貌微描摹的平面磨幾何體，并闡發在乎出側量重大成果。混用于側量各種各樣量塊、光纖激光切割機的薄膜電腦整機外貌的粗拙度；標尺刻度、度盤的刻線的厚度；光柵的槽形調整設計鍍鋅層的厚度和鍍鋅層邊防處的調整設計描摹；磁（光）盤、磁頭外貌調整設計側量；硅片外貌粗拙度和上幾何體調整設計側量一系列。
所以設備側量高精準程度高，有非打丈和三維圖側量的特色化，并接受較真機控制和極速闡發、較真側量技術成果，本設備同用于各個等級測試圖片、收費專題研討會總結第一單元式礦山工業企業收費室，密不可分生產加工廠區，也同用于上檔次高校和民間禁忌專題研討會總結第一單元式等。
重中之重學手藝技術參數
外型微不平整的深度精確測量經營規模
在快速內心上，相連二象素彼此并不嚴重于1 / 4 可見光波長的層面顏色漸變時：1000 一1nm 
相連二象素中含有大過1 / 4 光波長的超高顏色漸變時：130 一1nm 
測量的頻繁性：δRa ≤0.5nm 
物鏡功率:40X 
計算結果管徑:Φ 65  
責任時間間隔:0.5mm 
檢測設備視場  人機料法環: Φ0.25mm
攝象: 0.13×0.13mm
實驗室設備變小公因數 看著: 500× 
攝象（算計機霸屏檢查）一2500×
領受器精確測量排陣:1000X1000 
象素尺寸規格:5.2×5.2µm 
側量當時取樣（掃苗）當時:1S
儀器設備正確鏡     反射性率（高）: ～50 % 
折射率（低）: ～4 %
照明工程光線:熒光燈6V 5W
純天然干與濾光片光波長:λ≒530nm   
半厚度λ≒10nm   
主光學顯微鏡升程:110 mm 
目標臺升程:5 mm 
X 、丫標志依據挪動大規模: ～10 mm 
重任臺改變話動總量:360° 
目標任務臺頃斜總量：±6° 
較(jiao)真(zhen)我們的體內系：P4 , 2 .8G 超過，運行(xing)內存1G超過17寸純平突顯器