目 錄

　　前 言 1

　　一、“十一五”財產成長回首 1

　　(一)財產規模延續不變增添 1

　　(二)重點財產范疇獲得較大成就 2

　　(三)電子儀器財產布局調劑初見效果 3

　　(四)財產自立立異才能不時晉升 3

　　(五)財產鏈整合歷程日趨加速 4

　　(六)財產攙扶政策慢慢完美 4

　　二、“十二五”面臨的情勢 5

　　(一)財產成長情勢闡發 5

　　(二)手藝成長趨向闡發 6

　　(三)面臨的情況前提 7

　　三、成長思緒和成長方針 7

　　(一)成長思緒 7

　　(二)成長方針 8

　　1、經濟方針 8

　　2、立異方針 8

　　四、首要使命和成長重點 9

　　(一)首要使命 9

　　1、環繞計謀性新興財產，晉升配套才能 9

　　2、加強根本才能拔擢，晉升財產全體程度 9

　　3、以嚴重專項實行為契機，加強財產互動 9

　　(二)成長重點 10

　　1、集成電路出產裝備 10

　　2、太陽能電池出產裝備 11

　　3、新型元器件出產裝備 13

　　4、通訊與收集測試儀器 14

　　5、半導體和集成電路測試儀器 15

　　6、數字電視測試儀器 15

　　五、政策方法 15

　　(一)加強計謀指點，完美財產政策 15

　　(二)加大投入力度，撐持自立立異 15

　　(三)晉升產物靠得住性，加強辦事才能拔擢 16

　　(四)指點專項功效輻射，鞭策手藝操縱擴大 16

　　(五)正視人材計謀，會聚高端人材 16

　　前 言

　　電子公用裝備財產是嚴重裝備建造業的首要分支，是常識、手藝、本錢高度麋集型財產，處于電子信息財產鏈最高端，其根本性強、接洽關系度高、手藝難度大、進入門坎高，決議著一個國度或地域電子信息產物建造業的全體程度，也是電子信息財產綜合氣力的首要標記。

　　電子儀器財產是電子信息財產首要的根本性財產，具備高投入、多品種、小批量、更新換代快的特色，在公民經濟總產值中的占比不高，但對經濟成長的“杠桿”和“倍增”感化卻非常龐大。

　　為鞭策電子公用裝備儀器財產延續成長，減少與國際同類產物的差別，根據《財產轉型進級“十二五”打算》、《信息財產“十二五”成長打算》和《電子信息建造業“十二五”成長打算》，擬定本打算。

　　本打算觸及電子公用裝備和電子儀器兩大行業，是“十二五”時代我國電子公用裝備儀器財產成長的指點性文件和加強行業辦理、構造實行嚴重工程的根據。

　　一、“十一五”財產成長回首

　　(一)財產規模延續不變增添

　　我國電子公用裝備儀器財產在“十一五”時代堅持了較高的增速，固然時代受環球金融危急影響，2008年下半年至2009年上半年顯現出下滑態勢，但在國際多項政策鼓動勉勵下，跟著天下經濟慢慢回暖，電子公用裝備儀器業企穩上升，完成了出產、發賣和經濟效益全體安穩增添的態勢。

　　據統計，“十一五”時代我國電子公用裝備發賣支出年均增添率為20%，從2005年的783億元增添到跨越1987億元，電子公用裝備財產協會統計的行業主干企業年均增添率為25%，從52.7億元增添到160.6億元。統計數據標明，“十一五”時代我國電子儀器規模以上企業年均增添19%，到“十一五”末完成發賣支出940億元。五年間，電子公用裝備儀器產物中太陽能光伏裝備和元器件參數丈量儀器、超低頻丈量儀器等堅持了較大幅度的增添。

　　(二)重點財產范疇獲得較大成就

　　“十一五”時代，國度科技嚴重專項環繞光刻機、刻蝕機、65納米建造工藝、前進前輩封裝裝備等重點使命，集合資本重點投入，獲得很大停頓。南方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機產物樣機已進入大出產線停止查核考證;多種12英寸關頭裝備連續進入大出產線查核考證，標記著我國集成電路裝備財產已開端構成財產化成長態勢。

　　“十一五”時代新興財產的成長，為電子公用裝備財產帶來了杰出的成長契機。特別是我國晶硅太陽能電池裝備年均增添率到達58%，根基具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套出產線裝備供給才能，為我國光伏財產的成長供給了無力保障。晶硅太陽能裝備迸發式增添，為電子公用裝備財產完成“十一五”打算方針供給了無力撐持。

　　(三)電子儀器財產布局調劑初見效果

　　電子儀器財產根據市場操縱須要的變更，不時調劑布局，產物品種日趨豐碩。針對多功效、多參數的復合測試須要，測試裝備從單臺儀器向大型測試體系情勢邁進;電子丈量儀器向模塊化和分解儀器標的目的成長;田野工程操縱須要不時增進測試儀器向便攜式和手持式進級;新型的及時頻譜闡發儀起頭推向市場;3G、數字電視等民用范疇專業測試儀器新品不時出現。

　　(四)財產自立立異才能不時晉升

　　“十一五”以來，電子公用裝備儀器行業內首要企業經由過程引進國際外的高科技人材，加強與高校、科研單元的協作，在關頭裝備和斥地中躲避已有的外洋專利，斥地出一批手藝含量高、機能不變、具備自立常識產權的產物，開端成立起了以企業為主體的手藝立異體系。

　　在國度“863”打算、國度科技嚴重專項的撐持下，一批具備自立常識產權的集成電路裝備進入了大出產線。我國的無鉛焊接裝備到達了國際前進前輩程度，成為我外洋表貼裝裝備市場中最具合作力的產物。電子儀器行業的外鄉企業慢慢進入自立研發階段，開端把握焦點和高端儀器手藝，能夠或許為國度嚴重工程供給大局部派套電子儀器。在局部特種電子儀器產物方面沖破了外洋禁運和手藝封閉，為重點裝備的手藝保障和研制拔擢供給了無力撐持。

　　(五)財產鏈整合歷程日趨加速

　　在國度科技嚴重專項指點下，以龍頭企業為焦點的財產鏈整合歷程延續加速。南方微電子、上海中微、七星華創等零件企業與北京科儀、沈陽科儀、沈陽新松等零部件企業環繞刻蝕機、注入機、氧化爐等高端芯片建造裝備與關頭部件停止連系攻關;江蘇長電、南通富士通等國際封裝龍頭企業連系26家企業展開成套封裝裝備與配套資料的體系操縱工程。根據高低游配套的“名目群”體例，體系安排實行嚴重專項，無力增進集成電路財產鏈的成立、財產規模的增添和綜合配套才能的構成。

　　(六)財產攙扶政策慢慢完美

　　《國務院對加速復興裝備建造業的多少定見》將集成電路關頭裝備、新型平板顯現器件出產裝備、電子元器件出產裝備、無鉛工藝的零件裝聯裝備參加了國度嚴重手藝裝備中，加大政策撐持和指點力度，鼓動勉勵外鄉嚴重手藝裝備訂購和操縱，為財產成長締造了有益的市場情況。“極大規模集成電路建造裝備及成套工藝”國度科技嚴重專項的實行，無力動員了我國電子公用裝備儀器手藝晉升。

　　“十一五”時代我國電子公用裝備儀器行業獲得較大成就，但仍存在凸起題目：財產規模偏小，外鄉企業氣力不強;自立立異才能有待前進，高端裝備斥地絕對掉隊;局部產物性價比雖高，但靠得住性較差，市場據有率低;裝備斥地與產物建造工藝離開，影響了手藝功效財產化的歷程;高程度、復合型人材缺少。

　　二、“十二五”面臨的情勢

　　“十二五”時代，跟著政策情況的不時完美、計謀性新興財產的疾速成長，國際國際市場敏捷增添、新興增添點不時出現、操縱范疇進一步拓寬，為我國電子公用裝備儀器財產成長供給了廣漠的空間和堅固的政策撐持。但環球經濟情勢存在不肯定性、國產裝備儀器的奉行操縱難度加大，也使財產成長面臨較大挑釁。

　　(一)財產成長情勢闡發

　　2010年環球半導體建造裝備發賣總額到達395.4億美圓，規復到汗青最高程度。各個地域的裝備支出都顯現了兩位數乃至三位數百分比的增添，增添最快的是中國大陸和韓國。2010年中國際地半導體裝備市場為22.4億美圓，估計2011年為26.4億美圓。按此增添率推算，到2015年，我國半導體裝備市場規模將到達300億元國民幣。

　　2010年，環球光伏出產裝備發賣額比上年增添40%，到達104億美圓，估計2011年將到達124億美圓，同比增添24%。從地域市場來看，2010年中國大陸地域占環球市場51%的份額，估計將來5年還將持續堅持這一較高比例。據此，能夠判定到2015年我國光伏裝備將持續保有龐大市場空間。

　　新動力汽車用鋰離子動力電池、高機能驅動永磁式同步機電、金屬化超薄膜電力電容器等新型電子元器件出產裝備將成為我國電子公用裝備市場新的增添點。

　　多學科交匯為電子儀器斥地了新的成長空間，物聯網手藝成長和三網融會對電子儀器提出新的測試須要，估計上述范疇的電子儀器和情況掩護測試儀器和醫療電子儀器會晤對大成長。

　　(二)手藝成長趨向闡發

　　集成電路手藝成長將持續遵守“摩爾定律”，建造工藝程度的晉升對響應建造裝備提出了新的挑釁。不只是特色尺寸的減少和套刻精度的前進等手藝方針的改良，并且須要更高的出產效力和更低的用戶具備本錢等經濟方針的晉升。不只僅規模于集成電路的建造裝備，太陽能電池建造裝備、平板顯現裝備、零件裝聯裝備等裝備功效和機能的晉升也將合適這一成長趨向。

　　電子儀器向寬頻帶、大及時帶寬、大功率、高精度、高密度、高速標的目的成長;將普遍接納新型元器件，與信息手藝和計較機手藝融為一體，向智能化、體系化、模塊化、收集化、開放式、可重構、微型化、抗卑劣情況、丈量功效集成粗放化標的目的邁進。

　　(三)面臨的情況前提

　　“十二五”時代，跟著我國持續加速成長計謀新興財產，加大對“極大規模集成電路裝備建造手藝及成套工藝”、“新一代寬帶無線挪動通訊網”等嚴重科技專項的撐持，新動力、新資料等新興財產的成長和量大面廣的電子元器件的須要，將為電子公用裝備儀器企業的進一步成長締造杰出的成長機緣。

　　同時，財產也面臨著建造企業對推銷本地裝備儀器的主動性不高，在推銷外鄉裝備時須要面臨工藝與裝備的融會，新工藝斥地缺少手藝撐持等一系列題目。

　　為本地斥地的公用裝備儀器供給杰出的市場發賣情況和政策撐持，進一步下降國產裝備儀器的操縱本錢，晉升外鄉產物的配套率，晉升外鄉產物的合作上風，提振用戶對國產裝備儀器決定信念，是“十二五”時代需重點存眷和處理的題目。

　　三、成長思緒和成長方針

　　(一)成長思緒

　　深切貫徹落實迷信成長觀，充實闡揚嚴重科技專項、計謀性新興財產成長的引領感化，鞭策構成以企業為主體、產學研用連系的手藝立異體系;以市場亟需的、動員性較明顯的電子公用裝備、電子丈量儀器為重點，集合氣力重點沖破，斥地知足國度嚴重計謀須要、具備市場合作力的關頭產物，批量進入出產線，晉升市場自給率;以承當嚴重專項為契機，構成一批自立常識產權焦點手藝，拔擢起一批電子公用裝備儀器重點企業。

　　(二)成長方針

　　1、經濟方針

　　“十二五”期間，我國電子公用裝備財產將完成17%的年均增添速率，此中主干企業年均增添20%，到2015年完成發賣支出400億元;電子儀器財產年均增添速率達15%，到2015年完成發賣支出到達1800億元。

　　2、立異方針

　　12英寸65納米集成電路建造裝備完成財產化，研發勝利45納米-32納米建造裝備零件產物并進入出產線操縱。在多少手藝范疇構成具備特色的立異手藝和立異產物，大幅晉升立異氣力和差別化合作才能。研發出8-10種前道焦點裝備、12-15種前進前輩封裝關頭裝備并構成批量出產才能。

　　減少我國集成電路裝備、工藝手藝程度與那時國際前進前輩程度的差別，除光刻機外根基減少到1代乃至根基同步;晶硅太陽能電池裝備到達國際前進前輩程度;外表貼裝裝備除主動貼片機外到達國際前進前輩程度;集成電路后封裝裝備、液晶顯現器件后工序裝備、發光二極管(LED)裝備(除金屬無機化學氣相堆積裝備外)、片式元件裝備、污染裝備、情況嘗試裝備靠近國際前進前輩程度。

　　電子儀器全體手藝程度到達2005年前后國際前進前輩程度，在新一代挪動通訊、數字電視、綠色環保等操縱范疇的電子儀器根基到達與國際前進前輩程度同步。

　　四、首要使命和成長重點

　　(一)首要使命

　　1、環繞計謀性新興財產，晉升配套才能

　　加強為計謀性新興財產配套的電子公用裝備儀器的研發和財產化，環繞集成電路、太陽能光伏、中小尺寸平板顯現、下一代通訊等重點范疇所需電子公用裝備儀器，鼎力鞭策關頭手藝研發和財產化，加速產物奉行操縱歷程。

　　2、加強根本才能拔擢，晉升財產全體程度

　　針對關頭裝備和儀器財產化程度低、靠得住性差等題目，加強根本工藝研討，晉升重點裝備和儀器品德程度，主動成長電子公用裝備建造的接洽關系財產和配套財產，加大手藝革新投入，前進根本零部件和配套產物的手藝程度，不時知足電子信息建造業成長的須要。

　　3、以嚴重專項實行為契機，加強財產互動

　　指點承當嚴重專項的企業在霸占手藝難關的同時延展手藝操縱，鞭策集成電路裝備相干手藝在半導體、顯現、光伏、元器件等范疇的操縱，鞭策通訊收集測試裝備在通用測試儀器中的操縱。針對新興市場須要，加強財產鏈高低游聯動，共同摸索新工藝，連系研發新型裝備儀器。

　　(二)成長重點

　　1、集成電路出產裝備

　　(1)8英寸0.13微米集成電路成套出產線裝備財產化

　　在“十一五”攻關的根本上，以裝備出產才能的晉升和財產化為重點。處理以光刻裝備、刻蝕裝備、離子注入裝備、退火裝備、單晶成長裝備、薄膜成長裝備、化學機器拋光裝備和封裝測試裝備為代表的8英寸0.13微米工藝的集成電路成套裝備的自立研發，沖破焦點關頭手藝，在國際成立成套出產線，前進半導體裝備行業的配套性和全體程度。

　　(2)12英寸65納米-45納米集成電路關頭裝備財產化

　　光刻機：基于國產焦點部件完成90納米光刻機的產物定型，構成小批量出產才能，完成產物發賣。

　　刻蝕機：使國產65納米-45納米刻蝕機進入支流出產線，完成刻蝕機的財產化;完成45納米以下柵刻蝕和介質刻蝕產物研制，慢慢完成關頭手藝攻關，完成裝備出產線考證及貿易裝備定型設想。經由過程納米刻蝕機研制和工藝斥地把握高密度等離子刻蝕機建造的焦點手藝。

　　封測裝備：展開前進前輩封裝圓片減薄裝備、三維體系封裝通孔裝備、高密度倒裝鍵合裝備、新型晶片級封裝用裝備等的研發。

　　別的裝備：完成45納米薄膜裝備、攙雜裝備、互聯裝備、平展化裝備、洗濯裝備、工藝檢測裝備等零件產物的研發，在工程樣機設想及工藝斥地的根本上，連系靠得住性、不變性等財產化方針請求，改良設想，建造中試樣機，經由過程大批工藝考證與優化嘗試，肯定貿易機設想，完成財產化發賣。

　　2、太陽能電池出產裝備

　　(1)太陽能級多晶硅及單晶硅成長、切割、洗濯裝備財產化

　　多晶硅成長裝備：沖破熱場分控手藝、定向凝結手藝，完成投料量噸級及以上產物硅鑄錠爐的研發和財產化，并完成制品率到達75%以上。

　　單晶硅成長裝備：沖破單晶成長全主動節制手藝，完成8英寸(156 毫米×156 毫米硅片)以上尺寸全主動單晶爐財產化。

　　切割裝備：沖破張力節制軟件手藝、水冷卻氣密封手藝、沙漿溫度閉環節制手藝等關頭手藝，保障能知足太陽能硅片大出產切割須要，切割硅片尺寸8英寸，切割精度優于10微米、厚度在180微米以下的太陽能硅片多線切割機財產化。

　　洗濯裝備：沖破槽體溫度節制手藝、溶液輪回手藝、大路程直線傳輸手藝等關頭手藝，晉升產物品德的分歧性，完成碎片率小于0.3‰的太陽能晶硅洗濯制絨裝備財產化，增進晶硅太陽能電池片轉化效力晉升。

　　(2)全主動晶硅太陽能電池片出產線裝備研發及財產化

　　重點成長分散爐、等離子加強化學氣相堆積裝備(PECVD)等關頭裝備，沖破單機主動化及出產線裝備之間物流傳輸主動化手藝，完成整線主動化集成。

　　重點沖破主動圖象瞄準手藝、柔性傳輸手藝、高精度印刷手藝、高速高精度瞄準手藝、測試分選手藝、智能化節制及體系集成手藝，進一步前進電池片電極印刷、烘干、測試分選速率，完成產能到達1440片/小時以上、碎片率低于0.5%的全主動太陽能印刷線裝備財產化。

　　(3)薄膜太陽能出產裝備

　　硅基類薄膜太陽能電池裝備：重點前進大面積堆積的均勻性，進一步晉升裝備運轉的不變性，過度晉升主動化程度，前進出產效力。

　　碲化鎘(CdTe)薄膜太陽能電池裝備：沖破真空鍍膜裝備手藝難點，研發新型升華源的布局，進一步前進溫度均勻性，斥地在低溫、真空情況下的傳動體系。

　　銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池裝備：沖破真空鍍膜裝備、資料濺射、硒化手藝等手藝難點，完成元素配比的切確節制，保障大面積堆積的均勻性，前進出產效力，下降建造本錢。完成0.7平方米以上、電池轉化效力達14%以上的CIGS整線裝備集成。

　　3、新型元器件出產裝備

　　(1)中小尺寸無機發光顯現(OLED)出產裝備研發及財產化

　　處理無源無機發光顯現(PM-OLED)用無機蒸鍍和封裝等關頭裝備大面積化和低本錢化等題目，重點成長蒸發源、掩模對位、玻璃和掩模板牢固裝配等裝備，進一步前進出產效力。

　　展開中小尺寸有源無機發光顯現(AM-OLED)產物出產工藝和建造裝備研發，沖破濺鍍臺、PECVD體系、熱蒸發體系等AM-OLED用的薄膜晶體管(TFT)薄膜堆積裝備;涂膠機、暴光機、干濕法刻蝕機等AM-OLED用的TFT圖形建造裝備;退火爐、退火氣體管道、激光退火裝備等AM-OLED用TFT退火裝備;TFT電學測試裝備、OLED光學測試裝備等AM-OLED用檢測裝備;AM-OLED用缺點檢測修補裝備，如激光修補機等。

　　(2)高儲能鋰離子電池出產裝備研發及財產化

　　沖破電池漿料緊密攪拌手藝、電極極片緊密涂敷手藝、極片緊密軋膜手藝及疾速極片分切手藝，完成400升(裝量)漿料攪拌裝備、650毫米(幅寬)擠出式涂布裝備、Φ800(軋輥直徑800毫米)強力軋膜裝備、極片分切裝備(分切速率30-35米/分鐘)研發及財產化，完成整線裝備集成。

　　(3)其余元器件出產裝備研發及財產化

　　重點成長高機能永磁元件出產裝備、高亮度LED出產裝備、金屬化超薄膜電力電容器出產裝備、超小型片式元件出產裝備、高密度印制電路板出產裝備、高緊密主動印刷機高速、多功效主動貼片機無鉛再流焊機、高精度光學檢測裝備。

　　4、通訊與收集測試儀器

　　知足時候雙工持久演進手藝(TD-LTE)收集測試的多模終端樣機的研發，斥地TD-LTE路測闡發儀并到達商用化請求，共同TD-LTE手藝收集嘗試和規模商用。

　　針對TD-LTE基站和終端特色及相干新手藝和現實測試須要，斥地模塊化的TD-LTE基站和終端射頻測試體系，鞭策基站和終端機能進一步前進。

　　針對持久演進手藝(LTE)收集接口停止和談分歧性測試的須要，研討更便利、更簡練的測試東西對LTE的焦點收集裝備和無線收集裝備停止測試，鞭策裝備接口完成分歧性。

　　針對TD-LTE終端分歧性測試斥地擴大測試集儀器;針對TD-LTE-Advanced終端分歧性測試斥地終端和談仿真測試儀。

　　其余通訊體例和收集測試所需的新一代通訊測試儀器、計較機收集測試儀器、射頻辨認綜合測試儀器、各種讀卡器、近距離無線通訊綜合測試儀器。

　　5、半導體和集成電路測試儀器

　　知足對多種功效半導體和集成電路停止測試須要的射頻與高速數模夾雜旌旗燈號集成電路測試體系;存儲器等專項測試體系;半導體和集成電路在線測試體系、測試斥地體系。

　　6、數字電視測試儀器

　　知足數字電視和數字音視頻測試須要的數字電視旌旗燈號源、數字音視頻測試儀、碼流監測闡發儀、圖象品德闡發儀、數字電視上彀融會闡發儀、收集品德和寧靜監測儀、數字電視空中旌旗燈號籠蓋監測體系。

　　五、政策方法

　　(一)加強計謀指點，完美財產政策

　　充實操縱優惠政策，下降企業在手藝前進中的危險，公道地利用優惠政策增進科研功效財產化。擬定并完美《嚴重手藝裝備和產物入口關頭零部件、原資料商品清單》，進一步加強對電子公用裝備關頭零部件稅收優惠政策的撐持力度。

　　加速出臺《對印發<進一步鼓動勉勵軟件財產和集成電路財產成長多少政策>的告訴》(國發[2011]4號)的實行細則，對合適前提的集成電路公用儀器和集成電路公用裝備相干企業賜與企業所得稅優惠，撐持行業成長。

　　(二)加大投入力度，撐持手藝立異

　　充實闡揚國度科技嚴重專項、電子信息財產成長基金等指點感化，以多種情勢撐持電子公用裝備儀器行業手藝立異，重點撐持計謀意思大、手藝難度高、市場遠景廣、動員感化強、成長根本好的關頭電子公用裝備儀器成長。

　　鞭策落實《首臺(套)嚴重手藝裝備嘗試樹模名目辦理方法》，鼓動勉勵撐持集成電路關頭裝備、新型平板顯現器出產裝備、電子元器件出產裝備、無鉛工藝的零件裝聯裝備自立立異，為首臺(套)嚴重電子公用裝備操縱締造杰出前提。

　　(三)晉升產物靠得住性，加強辦事才能拔擢

　　抓好零部件配套和維修辦事使命，奉行均勻生效距離(MTBF)、均勻規復時候(MTTR)等靠得住性方針，接納靠得住性設想、元器件挑選等行之有用的方法，前進零部件產物靠得住性，拓展維修、備件供給等辦事規模，前進公用裝備儀器的辦事程度。

　　(四)指點專項功效輻射，鞭策手藝操縱擴大

　　在撐持企業承當嚴重專項的企業霸占手藝難關、強化焦點合作力的同時，主動指點將把握的手藝向相干范疇停止操縱擴大，重點鞭策半導體公用裝備手藝和產物在太陽能電池、LED、平板顯現等范疇的操縱。

　　(五)正視人材計謀，會聚高端人材

　　鞭策在高檔院校和科研院所加強電子公用裝備儀器相干學科拔擢與專業手藝人材的培育，拔擢高校、企業聯動的人材培育機制。以國度科技嚴重專項為平臺，加速人材引進，進一步晉升高端復合型人材的堆集。