低溫制冷的效果真空泵的氛圍爐除做嘗試外，不要逗留在低溫爐管區。嘗試任務終了時，若無人持續利用，請關特別氣體，保留N2活動， 爐管堅持在standby溫度，并檢查是不是有別的電源該關而不關，如：cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或別的，請順手關掉。

1、低溫真空氛圍爐處置HF時，請戴手套，如不謹慎碰著HF時，請當即沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處。

2、石英玻璃成品請謹慎利用，以防止分裂，引發嚴峻割傷。

3、防止吸入從爐子或處置槽所冒出之各類氣體。

4、氰化鉀（KCN）不可與酸類混置，因二者可發生劇毒之KCN氣體。

5、一旦發明有故障寧靜之事物時，請當即告訴有關職員（手藝員等）。

6、低溫真空氛圍爐請節儉純水用量。

7、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入洗濯槽的底部排水孔，以防止因排水不良形成地板漬水。

8、是非推桿之前端，在還沒利用到時，請朝上以防止凈化。

9、晶片收支爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以防止凈化爐管。