立體度偏差是指被測現實外表對其抱負立體的變化量。

　　立體度偏差是將被測現實外表與抱負立體停止比擬，二者之間的線值間隔即為立體度偏差值;或經由過程丈量現實外表上多少點的絕對高度差，再換算以線值表現的立體度偏差值。

　　立體度偏差丈量的經常使用方式有如下幾種：

　　1、平晶干與法：用光學平晶的任務面表現抱負立體，間接以干與條紋的曲折水平肯定被測外表的立體度偏差值。首要用于丈量小立體，如量規的任務面和千分尺測頭丈量面的立體度偏差。

　　2、打表丈量法：打表丈量法是將被測整機和測微計放在規范平板上，以規范平板作為丈量基準面，用測微計沿現實外表逐點或沿幾條直線標的目的停止丈量。打表丈量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測現實外表上相距最遠的三點所決議的抱負立體作為評定基準面，實測時先將被測現實外表上相距最遠的三點調劑到與規范平板等高;對角線法實測時先將現實外表上的四個角點按對角線調劑到兩兩等高。而后用測微計停止丈量，測微計在全部現實外表上測得的最大變化量即為該現實外表的立體度偏差。

　　3、液立體法：液立體法是用液立體作為丈量基準面，液立體由 “連通罐”內的液面組成，而后用傳感器停止丈量。此法首要用于丈量大立體的立體度偏差。

　　4、光束立體法：光束立體法是接納準值千里鏡和對準靶鏡停止丈量，挑選現實外表上相距最遠的三個點構成的光束立體作為立體度偏差的丈量基準面。