無塵室內的浮游微粒子濃度，操縱高機能的過濾器便可輕易到達零水平，實際的出產現場因為功課者、機械、周邊機械的發塵及基板輸送時所打仗的整機資料的發塵等，在制作品周邊揚起了少量的微粒子，是以構成了元件干凈面的粒子凈化。 無塵室內該若何防止微粒子凈化呢?應遵照以下四項根基準繩：

　　一、不攜入

　　在無塵室內不攜入微粒子的方式有：

　　1)功課員進入無塵室前，機臺、整機攜入前應停止干凈處置;

　　2)進入無塵室者在換衣室要穿著不發塵、不發生靜電的具出格導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　3)經由過程風淋室時操縱高速清潔氛圍撤除附在衣服外表的粒子后，能力進入無塵室。

　　4)機械及資料帶進無塵室前，應盡能夠在密封狀況下帶進無塵室前室頤養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。

　　5)無塵室中須全程穿著密閉式寧靜帽及佩帶附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　二、不發生

　　在節制最大凈化源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應節制第二大凈化源—制作機臺的發塵量。因物品在挪動時，所發生的磨擦及打仗剝離會構成發塵，而物品在挪動時也會有微粒子的發生。故為了節制發塵量到達最小限制應接納以下對策：

　　1)削減打仗剝離發塵的舉措形狀;

　　2)接納磨耗發塵小的材質;

　　3)接納發塵小的光滑油;

　　4)機臺利用空壓浮上的非打仗化任務道理。

　　三、不儲蓄

　　若能完整實行“不攜入”手藝，無塵室內的干凈度便能夠保持。但實際中人和物品的頻仍收支及制作機臺的掣動，在泛博的無塵室內要有完整干凈度是不能夠的。是以“不儲蓄”手藝疾速地在過濾器中利用以撤除已發生的微粒子變得很是主要。凡是已發生的微粒子會根據重力及靜電吸附力而逗留在周邊的物體外表。突發性的振動及不不變的氣流會使這些積累微粒在氛圍中再度揚起，增添了嚴重微粒子凈化的風險性。

　　在最高品級的無塵室中從天花板到空中，完整撤除微粒子的氛圍須在0.3-0.4m/s的速率作垂直向下活動。這是在約10秒內將室內氛圍和完整過濾氛圍完整互換所計較出來的數值。同時，氛圍的流向也必須要有切確的節制才行。出格要保障氣流的通順途徑通順無阻，因為在通順途徑中有妨礙物的話，輕易發生氛圍氛圍渦流而構成氛圍的滯留地區，使得四周已發生的微粒子沒法疾速解除而永劫間飄流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機械裝備的外表而引發凈化。

　　節制氣流可防止微粒子積累，但對帶電外表的微粒積累就沒法防止。

　　為了防止由靜電吸附而引發的微粒附著，凡是在無塵室內會操縱帶電水平在數十伏以下的導電性資料。而對制作品自身的帶電，則接納帶電水平很少的搬送形狀及打仗部品資料，并藉由除電裝配停止除電。

　　四、解除/撤除

　　在沒法防止大批微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內發生微粒子，是以間接做對外排氣的舉措，即所謂的部分排氣。針對排氣的對策以下：因為導入同量的外氣是須要的，但會陪同大批的動力耗損。以是沒法說是相對抱負的對策。是以盡能夠地在緊縮排氣量的同時，不只僅是向無塵室外排氣，而應接納將撤除粒子后的氛圍再回流到無塵室內之對策。