新型的X射線熒光光譜儀都裝有毛病診斷軟件，散布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀況旌旗燈號傳輸到計較機，供儀器操縱者和維修工程師判定儀器是不是普通，找到產生毛病的部位。可是有些在丈量進程中呈現的題目靠診斷軟件是發明不了的，并且診斷軟件僅僅提醒產生了毛病，要找到產生毛病的緣由，請求維修職員對儀器的布局比擬熟習，且具備必然的維修經歷。本文先容5種罕見毛病的產生緣由及處置方式。

　　毛病景象一

　　X射線產生器的高壓開不起來。

　　毛病闡發：

　　這是X射線熒光光譜儀較罕見的毛病，普通產生在開機時，偶然也產生在儀器運轉中。毛病的產生緣由能夠從三個方面去闡發：1、X射線防護體系;2、內部水輪回冷卻體系;3、高壓產生器及X射線光管。

　　1.1X射線防護體系

　　為了防止X射線泄露，高壓產生器只要在射線防護體系普通的環境下才能啟動。射線防護體系普通與否，首要查抄以下二局部：

　　1、面板的地位是不是普通。X射線熒光光譜儀是一個封鎖體系，面板是最外層的射線防護裝配，若是有一塊面板不到位，儀器就有射線泄露的能夠。是以，每塊面板上都有地位打仗傳感器，面板不完整合上，高壓開不起來。

　　2、X射線的警示標記是不是普通。國度規范[1]劃定X射線熒光光譜儀必須裝配白色正告旌旗燈號燈并與響應的開關聯動，是以若是旌旗燈號燈失靈，高壓也開不起來。

　　有一種簡略的方式能夠判定高壓不能啟動是不是是由射線防護體系引發，行將儀器的狀況設定為維修狀況，屏障射線防護體系，若是這時候候候高壓能夠開起來，就能夠肯定毛病是由射線防護體系的題目引發的。

　　1.2內部水輪回冷卻體系

　　高壓產生器的輸入功率普通為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小局部用于產生X射線外，大局部轉化為熱能，由內部水輪回冷卻體系帶走。內輪回水用于冷卻陽極靶四周的光管頭局部，是以請求內輪回水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內輪回水經由進程儀器內部的去離子樹脂柱降落電導率，去離子樹脂柱中的樹脂會年久生效，是以高壓沒法啟動時，可查抄一下內輪回水的電導率，若是電導率降不下去，斟酌改換樹脂。別的，內輪回水的水位太低，也會致使高壓開不起來。

　　還有一種毛病景象是高壓開起來幾分鐘后跳掉，產生這類毛病的緣由能夠為內輪回水的流量太小。內輪回水的流量經由進程流量計丈量，水流過流量計時，動員流量計內的葉輪，葉輪切割磁力線，產生電旌旗燈號。葉輪在水中持久動彈，能夠會銹蝕，從而使葉輪的轉速減慢，流量計的電旌旗燈號削弱，使儀器誤以為水流量太小而致使高壓跳掉。別的內輪回水的過濾網梗塞致使水流量減小，也會引發高壓跳掉。

　　1.3高壓產生器及X射線光管自身

　　高壓產生器和X射線光管是儀器內最貴重的部件，普通不會出題目。查抄高壓產生器，可將高壓產生器翻開，按照電路圖，查抄各個開關是不是在普通地位，看一下保險絲有不熔斷，再進一步的查抄最好由專業維修工程師來做。X射線光管是個封鎖的部件，一旦破壞，只能改換，不能補綴。查抄X射線光管，可查抄X射線光管與高壓電纜的毗連是不是普通，高壓電纜有不破壞。

　　毛病景象二

　　光譜室和樣品室的真空抽不到劃定值。

　　毛病闡發：

　　X射線熒光光譜闡發凡是在真空光路前提下任務，但光譜室和樣品室有良多部位與內部相連，能夠漏氣的部位良多。查抄真空毛病時，將能夠出題目的處所報酬分開為三局部：真空泵、樣品室、光譜室，對這三局部一一查抄以減少規模。

　　2.1真空泵

　　將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，而后抽真空，若是能在幾秒鐘內抽到劃定值，能夠解除真空泵呈現毛病的能夠性。若是能抽到劃定值但時候較長，能夠是真空泵的效力降落，這類環境普通產生在常常闡發壓片樣品和油品的儀器上，粉末或油被吸到真空泵油中，轉變了油的粘度，這時候候候需改換真空泵油。

　　2.2樣品室

　　樣品室最罕見的漏氣部位是樣品自轉裝配上的密封圈，樣品丈量時凡是以0.5轉/秒的速率自轉，儀器幾年運轉上去，樣品自轉處的密封圈磨損，密封結果變差。

　　2.3光譜室

　　光譜室最罕見的漏氣部位是流氣計數器，流氣計數器裝配在光譜室內，有一根入氣管和一根出氣管與外界雷同，流氣計數器的窗膜很薄，窗膜漏氣，就會影響光譜室真空。查抄方式：將入氣管和出氣管用一根軟管毗連，使流氣計數器與外界隔斷，而后抽真空。

　　查抄真空毛病，在裝配和裝配時，要謹慎操縱，不要讓灰或頭發掉到密封圈上，以防止產生新的漏氣點，裝配時能夠在密封部位涂一點真空油脂。

　　毛病景象三

　　計數率不不變。

　　毛病闡發：

　　X射線熒光光譜儀的經常利用探測器有二個：流氣計數器和閃灼計數器。閃灼計數器很不變，題目常呈現在流氣計數器上。

　　流氣計數器窗膜由一塊聚酯薄膜、hostaphan膜或聚丙烯薄膜鍍上一層很薄(約30nm)的鋁膜所組成，因為窗膜蒙受大氣壓力，一段時候后跟著基體資料的延展，鋁膜能夠產生裂紋，從而削弱導電機能，這類環境對脈沖高度散布影響不大，但會使計數率不不變。新型號的X射線熒光光譜儀普通都裝配1μm乃至0.6μm的窗膜，而不再利用6μm的窗膜，是以流氣計數器的窗膜導電機能降落的能夠性增大。

　　查抄方式[2]：在低X射線光管功率環境下，選一個KKα計數率約2000CPS的樣品，測定計數率，而后用一個鉀含量高的樣品代替原樣品，將光管調到滿功率，堅持2分鐘，再將X射線光管功率減至原值，丈量第一個樣品，如窗膜導電普通，將獲得原計數率，如窗膜導電機能變差，會發明計數率減小，而后漸漸上升至初始值，這時候候候就應更調窗膜。

　　毛病景象四

　　2θ掃描時，發明峰形不滑膩，有小鋸齒狀。

　　毛病闡發：

　　晶體是儀器內最懦弱的部件，盡能夠不要用手打仗衍射面，若是手或其余工具碰著了晶體的衍射面，就會凈化晶體，手上的汗或其余物資滲到晶體的外表，使晶體外表的晶格間距產生變更，而X射線熒光的衍射首要產生在晶體的外表，是以形成2θ掃描的峰形不滑膩。這類毛病臨時很難消弭，文獻[3]先容了晶體的外表處置方式，但普通洗濯不清潔。

　　毛病景象五

　　2θ掃描時只呈現噪聲旌旗燈號，不峰位旌旗燈號。

　　毛病闡發：

　　能夠的緣由有二個：

　　5.1探測器的前置縮小電路呈現毛病，呈現的噪聲旌旗燈號為電路噪聲，不是X射線旌旗燈號。

　　5.2測角儀的θ和2θ耦合干系產生紊亂，凡是是節制θ和2θ耦合干系的CMOS中的數據因為電池泄電等緣由喪失，這時候候候須要從頭對光。