顯微鏡因為電子的動搖性，當它經由過程小孔光闌時會產生衍射景象。衍射成果表現為每一個物點構成的像是一個圓斑(四周的副光環可疏忽不計)。界說這個衍射圓斑的半徑為衍射像差。在像方或物方可別離表現為:

　　(Ar&ff),=0.611/a(1一22a)

　　(1rdff)o=0.61A/ao(1一22b)

　　式中各標記的意思同前。能夠看出加大光闌孔徑角as，能夠減小衍射差。但現實任務中還應注重如許會帶來的倒霉影響。

　　景深和焦探(11)

　　景深便是在堅持像清楚的條件下，可許可物面在軸上的挪動間隔，或說可許可物上差別部位處的高低差。按照圖1-10，抱負環境下物點P成像在Q點.若是物面在P點前后P’P"之間挪動，則在Q看到的物有一定橫向寬度。若是透鏡有各類像差。該體系現實存在一個對物的可分辯極限(分辯率8)。顯微鏡價錢只需P’P,,間立體上的物點寬度小于或即是s，則在Q處的成像結果與P點處多少物點形成的像斑是不異的，即其清楚度不異。是以可許可的物在軸上最大間隔PP"稱景深Do，它由下式定出:

　　D0二

　　(1一23)

　　式中d一電子光學體系對物的分辯率;

　　ao一電子束的物方有用孔徑角.

　　對100kV的電鏡，偏鮮明微鏡若是分辯率為lnm，物鏡孔徑角為5X10-1rad，則景深Do=200nm.這表現樣品厚度或外表高低升沉不跨越200nm時，能獲得平均清楚的圖象.因而可知景深也經常成為對樣品厚度的限定身分之一。

　　把景深這一特征轉換到像便利可獲得焦深Df。它便是為了獲得清楚度不異的像，可許可的圖象顯現或記實立體的軸向位移量。參照(1一23)可得:

　　Df=B;/a(1一24)

　　式中S;一像方的分辯率;a;一電子束的像方有用孔徑角。

　　顯微鏡像方分辯率S;受察看熒光屏的分辯率所限定。凡是熒光屏的分辯率為505m。如電鏡最高縮小倍數M=10`X，電子束孔徑角ao=5X10-’rad，則最長焦深(D1),o,==100M。即便在最低縮小倍數M=10’X，響應的ao=1X10-’rad時，最低焦深(Df).二50cm。可見電鏡的焦深值很大.這就說了然在透射電鏡中為甚么咱們只對熒光屏調焦，而把像記實在其下方的電子感光板或其上方的35mm膠片上時，總能獲得清楚的像。